Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов

Сохранено в:
Шифр документа: АР489794, АУ626478, М206392,
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : Наука , 1982
Физические характеристики: 208 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr21670080000
005 20071005142000.0
010 # # $d 2 р. 30 к. 
021 # # $a RU  $b [82-68111] 
100 # # $a 20071005d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Импульсный отжиг полупроводниковых материалов  $f А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов  $g [Отв. ред. А. В. Ржанов] 
210 # # $a М.  $c Наука  $d 1982 
215 # # $a 208 с.  $c ил.  $d 21 см 
300 # # $a В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. Библиогр. в конце глав 
345 # # $9 1650 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Легирование ионное 
675 # # $a 621.315.592.002 
701 # 1 $a Двуреченский  $b А. В.  $g Анатолий Васильевич 
702 # 1 $a Ржанов  $b А. В.  $g Анатолий Васильевич  $4 340 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20071005  $g psbo