Стационарный и импульсный отжиг тонких пленок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (05.27.01) / АН Республики Беларусь, Ин-т электроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чапланов, А. М. |
| Опубликовано: | Мн. , 1992 |
| Физические характеристики: |
32 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||