|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br865925 |
| 005 |
20070615152814.2 |
| 100 |
# |
# |
$a 20061121d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e 05.13.06
$f Ююкин Николай Викторович
$g [Воронежский государственный технический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2006
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 15-16 (12 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2121092
$a СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24620
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33890
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52570
$a РОБОТИЗИРОВАННЫЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ КОМПЛЕКСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35253
$a УПРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18658
$a МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2151
$a АЛГОРИТМИЗАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.06
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.47.02
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 28.17.31
$2 rugasnti
$v 5
|
| 686 |
# |
# |
$a 27.03.17
$2 rugasnti
$v 5
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-128895
$a Ююкин
$b Н. В.
$g Николай Викторович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061121
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20061208
$g psbo
|
