|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br747108 |
| 005 |
20230120105212.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050819d2004 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ab
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e утверждена 23.03.05
$e 05.27.01
$f Турцевич Аркадий Степанович
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2004
|
| 215 |
# |
# |
$a 198 л.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: л. 178-192 (187 названий)
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служебного пользования.
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001277605
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15092
$a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61477
$a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39194
$a ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11918
$a ИНТЕГРИРОВАНИЕ (мат.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60491
$a ГАЗОВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15093
$a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61478
$a ДЫЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ЎЛАСЦІВАСЦІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39195
$a ЭЛЕКТРАПРАВОДНАСЦЬ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar60492
$a ГАЗАВАЯ ФАЗА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11919
$a ІНТЭГРАВАННЕ (мат.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.774-027.3(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.08
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502584
$a Турцевич
$b А. С.
$g Аркадий Степанович
$c доктор технических наук
$f род. 1958
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050819
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
| 856 |
4 |
9 |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26ad6202.pdf
|
