Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 05.27.01 / Силаков Михаил Валерьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Силаков, М. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2003 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||