Расчет быстродействия, надежности и выбор структурно-компоновочных вариантов вакуумного технологического оборудования: Метод. указания к домаш. заданию по курсу "Оборудование для нанесения и обраб. тонких пленок в вакууме" / Моск. гос. техн. ун-т им.Н.Э.Баумана

Сохранено в:
Шифр документа: 1Ок79471,
Вид документа: Книги
Автор: Панфилов, Ю. В.
Опубликовано: М. : Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана , 1994
Физические характеристики: 24 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000004ib4500
001 BY-NLB-br56518
005 20210224160836.0
010 # # $a 5-7038-1224-4  $d Б.ц. 
020 # # $a ru  $b 94-30167 
100 # # $a 19940530d1994 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Расчет быстродействия, надежности и выбор структурно-компоновочных вариантов вакуумного технологического оборудования  $e Метод. указания к домаш. заданию по курсу "Оборудование для нанесения и обраб. тонких пленок в вакууме"  $f Моск. гос. техн. ун-т им.Н.Э.Баумана 
210 # # $a М.  $c Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана  $d 1994 
215 # # $a 24 с. 
345 # # $9 500 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33890  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30272  $a ТРАНСПОРТНЫЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10591  $a ЗАГРУЗОЧНЫЕ УСТРОЙСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar19436  $a НАДЕЖНОСТЬ (техн.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33891  $a ТЭХНАЛАГІЧНАЕ АБСТАЛЯВАННЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar10592  $a ЗАГРУЗАЧНЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar30273  $a ТРАНСПАРТНЫЯ СІСТЭМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4867  $a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2273471  $a УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ СТУДЕНТОВ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
675 # # $a 621.382.4.77.002.5-987(075.8)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-120963  $a Панфилов  $b Ю. В.  $g Юрий Васильевич  $c доктор технических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-230143  $a Климанов  $b С. А.  $g Сергей Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19940530  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060314  $g psbo