Основы теории непрерывного технологического контроля параметров нанокомпозитных структур в технологии ионно-плазменных процессов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Баранов Александр Михайлович
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Баранов, А. М. |
Опубликовано: | М. , 2003 |
Физические характеристики: |
34 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|