Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантированных слоях кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Александров Олег Викторович. - СПб., 2003. - 32 с. - Александров, О. В. (2003)