Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники: Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники" / Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Акуленок, М. В. |
| Опубликовано: | М. : МГИЭТ (ТУ) , 1993 |
| Физические характеристики: |
84 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||