|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-br108746 |
| 005 |
20210430155051.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-7256-0005-Х
$d Б.ц.
|
| 020 |
# |
# |
$a ru
$b 94-1325
|
| 100 |
# |
# |
$a 19981112d1993 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники
$e Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектроники"
$f Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МГИЭТ (ТУ)
$d 1993
|
| 215 |
# |
# |
$a 84 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 80-83.
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15096
$a КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17342
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002.3:537.311.322:548.25(075.8)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.01.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 31.15.17
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-304997
$a Акуленок
$b М. В.
$g Марина Викторовна
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19981112
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
