Лазерная технология формирования компонентов электронной техники из аморфных и кристаллических материалов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Шершнев Евгений Борисович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шершнев, Е. Б. (род. 1960) |
| Опубликовано: | Минск , 2023 |
| Физические характеристики: |
290 л. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|