|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467214 |
| 005 |
20180503142612.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180503d1989 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Взаимодействие электронных пучков с поверхностью твердого тела применительно к разработке оптимальной субмикронной литографии
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1978―1986 гг.)
$f Ю. В. Гуляев, Р. К. Яфаров
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 52 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1989, вып. 7
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 49―52 (52 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 1646 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1989, вып. 7
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-539470
$a Гуляев
$b Ю. В.
$g Юрий Васильевич
$c доктор физико-математических наук
$f род. 1935
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar422889
$a Яфаров
$b Р. К.
$g Равиль Кяшшафович
$c доктор технических наук
$f род. 1948
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180503
$g psbo
|
