Основные возможности и ограничения методов фотолитографии и электронолитографии: (аналитический обзор литературы) / [Г. Шуман]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шуман, Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1975 |
| Физические характеристики: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1975, вып. 8 |
Загрузка