Основные проблемы современной фотолитографии / И. Н. Рубцов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рубцов, И. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
64 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 3 |