Закономерности осаждения слоев диоксида титана из газовой фазы, содержащий тетраизопропилат титана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Барышникова Марина Владимировна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Барышникова, М. В. |
| Опубликовано: | Санкт-Петербург , 2013 |
| Физические характеристики: |
17 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||