Повышение качества процессов получения диэлектрических покрытий: (при изготовлении элементов РЭУ): автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальности 05.02.23 Стандартизация и управление качеством продукции, 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Овчинникова Елена Вадимовна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Овчинникова, Е. В. |
| Опубликовано: | Москва , 2012 |
| Физические характеристики: |
19 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||