Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.17.01 / Фантиков Валентин Сергеевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//79518(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Фантиков, В. С.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2009
Физические характеристики: 21 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000451995
005 20100419152143.0
100 # # $a 20100210d2009 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.17.01  $f Фантиков Валентин Сергеевич  $g [ГОУ ВПО "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульнова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2009 
215 # # $a 21 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—21 (26 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2862840  $a НАНОПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar60038  $a МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2775854  $a ФРАКТАЛЬНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar32347  $a СТРУКТУРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2764600  $a СВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2643528  $a МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 29.19.16  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.48  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 81.09.03  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 05.17.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Фантиков  $b В. С.  $g Валентин Сергеевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20100210  $g psbo