Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.02 / Ахмадеев Юрий Халяфович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//9576(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ахмадеев, Ю. Х.
Опубликовано: Томск , 2007
Физические характеристики: 19 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0000035294
005 20230704152052.0
100 # # $a 20070328d2007 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.02  $f Ахмадеев Юрий Халяфович  $g [Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН] 
210 # # $a Томск  $d 2007 
215 # # $a 19 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 17-19 (15 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13985881  $a ПОЛЫЕ КАТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar56006  $a АЗОТИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34032  $a ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13086  $a КАТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34004  $a ТИТАН (хим.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2344877  $a ПЕРЕРАБОТКА ОТХОДОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6834  $a ГАЗОРАЗРЯДНЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.29.33  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 53.49.21  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 55.21.19  $v 5  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.02  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-146833  $a Ахмадеев  $b Ю. Х.  $g Юрий Халяфович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070328  $g psbo