Технология изготовления интегральных микросхем: Конспект лекций по дисциплине «Технология устройств автоматики и телемеханики». [В 2-х ч.]

Сохранено в:
Автор: Скачков, П. С.
Вид документа: Книги
Опубликовано: М. : МГИ , 1983-
Язык: Русский
00000nam1a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr30755760000
005 20070618185048.0
100 # # $a 20070618f1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология изготовления интегральных микросхем  $e Конспект лекций по дисциплине «Технология устройств автоматики и телемеханики». [В 2-х ч.] 
210 # # $a М.  $c МГИ  $d 1983- 
215 # # $d 19 см 
300 # # $a В надзаг.: Моск. горн. ин-т 
700 # 1 $a Скачков  $b П. С.  $g Павел Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070618  $g psbo