Электронная библиотека Национальной библиотеки Беларуси :: Национальная Библиотека РБ

result_checkbox_label
1

Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Грунский Дмитрий Игоревич. - Минск, 2001. - 21 с.

Автор Грунский, Д. И.
“..., Минск, 21-22 мая 1998 г./ ° ИММС НАББ.- Минск, 1998. — С.60. Босяков М.Н., Грунский Д.И., Жук Д...”
E-документ

Авторефераты диссертаций

Добавить в Избранное

Сохранено в:
result_checkbox_label
2

Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: 19.04.2001: 27.06.2001 / Грунский Дмитрий Игоревич. - Мн., 2001

Автор Грунский, Д. И.
“...Грунский, Д. И. Дмитрий Игоревич...”
E-документ

Диссертации

Добавить в Избранное

Сохранено в: