Основы современных технологических процессов: курс лекций / В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, Д. И. Бринкевич

Сохранено в:
Шифр документа: 1Н//290631(039), 1Н//290632(039),
Вид документа: Книги
Автор: Просолович, В. С. (род. 1955)
Опубликовано: Минск : Белорусский государственный университет , 2011
Физические характеристики: 134, [1] с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ
ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
ЭПИТАКСИЯ (физ.)
СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-RLST-kn-255874
005 20220412153329.0
010 # # $a 978-985-518-451-6 
100 # # $a 20110520d2011 f y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a j 010yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Основы современных технологических процессов  $e курс лекций  $f В. С. Просолович, Ю. Н. Янковский, Д. И. Бринкевич 
210 # # $a Минск  $c Белорусский государственный университет  $d 2011 
215 # # $a 134, [1] с.  $c ил.  $d 20 см 
300 # # $a На обложке: БДУ ― 90 
320 # # $a Библиография: с. 133 (12 назв.) 
345 # # $9 100 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1595551  $a ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23677  $a ПЛАНАРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24592  $a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39622  $a ЭПИТАКСИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar29176  $a СБОРОЧНО-МОНТАЖНЫЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85256  $a ФОТОЛИТОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
608 # # $3 BY-NLB-ar2286649  $a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ  $2 BYGNR 
608 # # $3 BY-NLB-ar5183659  $a КУРС ЛЕКЦИЙ  $2 BYGNR 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.382.2/.3-027.3(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-340049  $a Просолович  $b В. С.  $g Владислав Савельевич  $c кандидат физико-математических наук  $f род. 1955 
701 # 1 $3 BY-NLB-ar2475300  $a Янковский  $b Ю. Н.  $g Юрий Николаевич  $c кандидат физико-математических наук, физика  $f род. 1961 
701 # 1 $3 BY-SEK-205387  $a Бринкевич  $b Д. И.  $g Дмитрий Иванович  $c кандидат физико-математических наук  $c физика  $f род. 1956 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20110520  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170926  $g RCR 

Схожие документы