Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем: учебно-методическое пособие для студентов учреждений, обеспечивающих получение высшего образования по специальностям "Микро- и наноэлектронные технологии и системы" и "Квантовые информационные системы" / Д. А. Котов, А. Г. Черных
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Котов, Д. А. |
| Publié: | Минск : БГУИР , 2010 |
| Description matérielle: |
46, [1] с. : ил. ; 20 см
|
| Langue: | Russe |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Réserver | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||