Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Publicado: | Минск : Бестпринт , 2009 |
| Descripción Física: |
198 с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||