National Library of Belarus :: Национальная Библиотека РБ

Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]

Saved in:

Шифр документа:	1Н//264997(039), 1Н//264998(039), ##1Н//318277(055),
Format:	Books
Published:	Минск : Бестпринт , 2009
Physical Description:	198 с. : ил., табл. ; 20 см
Language:	Russian
Subjects:	ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ УЛЬТРАЗВУКОВАЯ СВАРКА МИКРОСВАРКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

ОФХ отдела книгохранения

All : 2 , available: 2

Available Place a Hold

Information about the copies

Shifr	Fond	Holding place	Copy status	Reading room
1Н//264997(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:41	AVAILABLE	Рекомендованный ЧитЗал
1Н//264998(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:41	AVAILABLE	Рекомендованный ЧитЗал