Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| Veröffentlicht: | Минск : Бестпринт , 2009 |
| Beschreibung: |
198 с. : ил., табл. ; 20 см
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||