Нацыянальная бібліятэка Беларусі :: Национальная Библиотека РБ

Технологические процессы и системы в микроэлектронике: плазменные, электронно-ионно-лучевые, ультразвуковые / [А. П. Достанко и др.]

Захавана ў:

Шифр документа:	1Н//264997(039), 1Н//264998(039), ##1Н//318277(055),
Тып дакумента:	Кнігі
Апублікавана:	Минск : Бестпринт , 2009
Фізіч. характарыстыкі:	198 с. : ил., табл. ; 20 см
Мова:	Руская
Прадмет:	ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИЕ ПОКРЫТИЯ ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ УЛЬТРАЗВУКОВАЯ СВАРКА МИКРОСВАРКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА

ОФХ отдела книгохранения

Усяго : 2 , даступна: 2

Даступна Замовіць

Інфармацыя аб экземплярах

Шыфр	Фонд	Месца знаходжання	статус экзэмпляра	Чытальная зала
1Н//264997(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:41	СВАБОДНЫ	Рекомендованный ЧитЗал
1Н//264998(039)	ОФХ отдела книгохранения (039)	15:1:3:41	СВАБОДНЫ	Рекомендованный ЧитЗал