|
|
|
|
|
00000cam2a2200000 ib4500 |
| 001 |
BY-RLST-kn-219990 |
| 005 |
20220412154605.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 978-5-9963-0335-9
|
| 100 |
# |
# |
$a 20101214d2010 f y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ga
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-химические основы технологии микроэлектроники
$f Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
|
| 210 |
# |
# |
$d 2010
|
| 215 |
# |
# |
$a 392 с.
$c ил., табл.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 386—389 (80 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 772 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-RLST-kn-230732
$1 2001
$v Т. 1
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35865
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35621
$a ФАЗООБРАЗОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7362
$a ГЕТЕРОГЕННЫЕ РЕАКЦИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39622
$a ЭПИТАКСИЯ (физ.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1595551
$a ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3363716
$a МЕХАНОАКТИВАЦИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36833
$a ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4867
$a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2408340
$a МИКРОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18376
$a МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 608 |
# |
# |
$3 BY-NLB-ar2286649
$a УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ
$2 BYGNR
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3(075.8)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar451557
$a Чистяков
$b Ю. Д.
$g Юрий Дмитриевич
|
| 701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar451558
$a Райнова
$b Ю. П.
$g Юлия Петровна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20101214
$g psbo
|
| 801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170926
$g RCR
|
