|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ib4500 |
001 |
BY-RLST-kn-218632 |
005 |
20220412154515.0 |
010 |
# |
# |
$a 978-5-9963-0032-7
$b в переплете
|
100 |
# |
# |
$a 20110321d2010 f y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a j 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ga
|
200 |
1 |
# |
$a Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
$e учебное пособие
$e для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"
$f В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
$g под редакцией С. П. Тимошенкова
|
210 |
# |
# |
$a Москва
$c БИНОМ. Лаборатория знаний
$d 2010
|
215 |
# |
# |
$a 283 с.
$c ил., табл., схемы
$d 22 см
|
225 |
1 |
# |
$a Нанотехнологии
|
320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 275—280 (96 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 770 экз.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2120089
$a УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2381861
$a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3352548
$a НАНОСИСТЕМЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar67566
$a НАНОТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar82800
$a ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar65279
$a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334070
$a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14264
$a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.794.44-982(075.8)
$v 4
$z rus
|
675 |
# |
# |
$a 620.3:621.794.44-982(075.8)
$v 4
$z rus
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.07
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.01.33
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 81.13.30
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$v 6
$2 rugasnti
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar462617
$a Галперин
$b В. А.
$g Вячеслав Александрович
$c кандидат технических наук
$f род. 1954
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-RLST-ar462618
$a Данилкин
$b Е. В.
$g Евгений Владимирович
$c кандидат технических наук
|
701 |
# |
1 |
$3 BY-CNB-a644218
$a Мочалов
$b А. И.
$g Алексей Иванович
$c кандидат технических наук
$f род. 1939
|
702 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-357792
$a Тимошенков
$b С. П.
$g Сергей Петрович
$c доктор технических наук
$f род. 1957
$4 340
$4 080
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0001
$c 20110321
$g psbo
|
801 |
# |
2 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170927
$g RCR
|