Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие: для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов

Сохранено в:
Шифр документа: 1//367630(039), 1//367631(039),
Вид документа: Книги
Автор: Галперин, В. А. (род. 1954)
Опубликовано: Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний , 2010
Физические характеристики: 283 с. : ил., табл., схемы ; 22 см
Язык: Русский
Серия: Нанотехнологии
Предмет:
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-RLST-kn-218632
005 20220412154515.0
010 # # $a 978-5-9963-0032-7  $b в переплете 
100 # # $a 20110321d2010 f y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a j 000yy 
109 # # $a ga 
200 1 # $a Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях  $e учебное пособие  $e для высших учебных заведений по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"  $f В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов  $g под редакцией С. П. Тимошенкова 
210 # # $a Москва  $c БИНОМ. Лаборатория знаний  $d 2010 
215 # # $a 283 с.  $c ил., табл., схемы  $d 22 см 
225 1 # $a Нанотехнологии 
320 # # $a Библиография: с. 275—280 (96 назв.) 
345 # # $9 770 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2120089  $a УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2381861  $a МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3352548  $a НАНОСИСТЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33870  $a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar67566  $a НАНОТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23657  $a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3128229  $a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar82800  $a ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar65279  $a КОНТРОЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3334070  $a КОНТРОЛЯ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14264  $a КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ  $2 DVNLB 
675 # # $a 621.382.049.77-027.3:621.794.44-982(075.8)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 620.3:621.794.44-982(075.8)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 47.13.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.07  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.33  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.13.30  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 81.29.31  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar462617  $a Галперин  $b В. А.  $g Вячеслав Александрович  $c кандидат технических наук  $f род. 1954 
701 # 1 $3 BY-RLST-ar462618  $a Данилкин  $b Е. В.  $g Евгений Владимирович  $c кандидат технических наук 
701 # 1 $3 BY-CNB-a644218  $a Мочалов  $b А. И.  $g Алексей Иванович  $c кандидат технических наук  $f род. 1939 
702 # 1 $3 BY-SEK-357792  $a Тимошенков  $b С. П.  $g Сергей Петрович  $c доктор технических наук  $f род. 1957  $4 340  $4 080 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0001  $c 20110321  $g psbo 
801 # 2 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170927  $g RCR