Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шурдук, Б. К. |
| Опубликовано: | Киев , 1989 |
| Физические характеристики: |
212 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41982520000 | ||
| 005 | 20080219125548.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.01) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 212 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 188-212. - Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Шурдук $b Б. К. $g Борис Константинович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |