Исследование и разработка методов и средств измерений параметров прецизионных микроэлектронных изделий [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.11.05)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чернышев, Н. И. |
| Опубликовано: | Пенза , 1990 |
| Физические характеристики: |
235 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41934500000 | ||
| 005 | 20080219140604.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка методов и средств измерений параметров прецизионных микроэлектронных изделий $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.11.05) |
| 210 | # | # | $a Пенза $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 235 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 185-197. - Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.11.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Чернышев $b Н. И. $g Николай Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |