Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.07)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сивоволов, В. А. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
227 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41763900000 | ||
| 005 | 20080219133658.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование лазерного анализатора для контроля органических примесей в жидких технологических средах микроэлектроники $b [Микроформа] $e Дис. ... канд. техн. наук $e (05.27.07) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 227 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 216-224 |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Сивоволов $b В. А. $g Владимир Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |