Теоретическое исследование и моделирование процессов электронной и рентгеновской литографий [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 07.12.88: (05.27.01)
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Свинцов, А. А. |
| 出版: | Черноголовка , 1987 |
| 實物描述: |
142 с. : ил.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||