Численное моделирование некоторых технологических процессов в микроэлектронике [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: (05.13.16)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Пулатов, С. И. |
| Publié: | М. , 1990 |
| Description matérielle: |
123 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||