
Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)
Gespeichert in:
Format: | |
---|---|
1. Verfasser: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
Veröffentlicht: | Мн. , 1990 |
Beschreibung: |
395 с.
|
Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|