Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Пилипенко, В. А. (род. 1949) |
| Апублікавана: | Мн. , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
395 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||