Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)

Захавана ў:
Шифр документа: 059100839,
Тып дакумента: Дысертацыі
Аўтар: Пилипенко, В. А. (род. 1949)
Апублікавана: Мн. , 1990
Фізіч. характарыстыкі: 395 с.
Мова: Руская
00000cbm0a22000001id4500
001 BY-NLB-rr41649040000
005 20250307113527.0
100 # # $a 20080219d1990 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
200 1 # $a Разработка импульсных фотонных процессов термообработки для создания биполярных микросхем  $b [Микроформа]  $e Дис. ... д-ра техн. наук  $e (05.27.01) 
210 # # $a Мн.  $d 1990 
215 # # $a 395 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 359-389. - Для служеб. пользования 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-241260  $a Пилипенко  $b В. А.  $g Владимир Александрович  $c доктор технических наук  $f род. 1949 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080219  $g psbo