Теоретические и экспериментальные исследования энергетических распределений вторичных ионов при распылении мишеней сложного состава ионами килоэлектронвольтных энергий [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 06.04.88: (01.04.04)

Сохранено в:
Шифр документа: 04870020050,
Вид документа: Диссертации
Автор: Никитенков, Н. Н.
Опубликовано: Томск , 1987
Физические характеристики: 164 с.
Язык: Русский
00000nbm0a22000001id4500
001 BY-NLB-rr41587850000
005 20080219132319.0
100 # # $a 20080219d1987 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Теоретические и экспериментальные исследования энергетических распределений вторичных ионов при распылении мишеней сложного состава ионами килоэлектронвольтных энергий  $b [Микроформа]  $e Дис. ... канд. физ.-мат. наук  $e Утв. 06.04.88  $e (01.04.04) 
210 # # $a Томск  $d 1987 
215 # # $a 164 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 147-164 
686 # # $a 01.04.04  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Никитенков  $b Н. Н.  $g Николай Николаевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080219  $g psbo