Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокого вакуума [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 05.10.88: (01.04.10)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Зотов, А. В. |
| Publié: | Владивосток , 1987 |
| Description matérielle: |
127 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||