Исследование твердофазной эпитаксии легированных пленок кремния в условиях сверхвысокого вакуума [[Микроформа]]: Дис. ... канд. физ.-мат. наук: Утв. 05.10.88: (01.04.10)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Зотов, А. В. |
| Апублікавана: | Владивосток , 1987 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
127 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||