Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидсодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники [[Микроформа]]: Дис. ... д-ра техн. наук: (05.27.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1990 |
| Физические характеристики: |
395 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cbm0a22000001id4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr41011950000 | ||
| 005 | 20240305102633.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20080219d1990 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 200 | 1 | # | $a Конструктивно-технологические методы обеспечения качества силицид- и оксидсодержащих блоков токопроводящих систем изделий полупроводниковой электроники $b [Микроформа] $e Дис. ... д-ра техн. наук $e (05.27.01) |
| 210 | # | # | $a Мн. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 395 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 360-395 |
| 615 | # | # | $a Белорусский национальный документ |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Баранов $b В. В. $g Валентин Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080219 $g psbo |