Эпитаксия: [сборник статей / под редакцией Ю. Д. Чистякова и А. Ю. Малинина]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Московский институт электронной техники , 1969 |
| Физические характеристики: |
343 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
вып. 4 |
| Предмет: |
Загрузка