|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40841850000 |
| 005 |
20170704151546.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 2 р. 60 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-32043]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080117d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Эллипсометрия: теория, методы, приложения
$e [Материалы конф., 9-11 июля 1985 г.]
$f Отв. ред. А. В. Ржанов, Л. А. Ильина
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$c Наука. Сиб. отд-ние
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 191 с.
$c ил.
$d 26 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. - Библиогр. в конце докл.
|
| 345 |
# |
# |
$9 1450 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Эллипсометрия - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.211.082.5(082)
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ржанов
$b А. В.
$g Анатолий Васильевич
$4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Институт физики полупроводников (Новосибирск)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080117
$g psbo
|
