Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения: Сб. науч. тр. / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 456540,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние , 1991
Физические характеристики: 251, [1] с. : ил. ; 22 см
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr40841820000
005 20161003121229.0
010 # # $a 5-02-029916-2  $b в пер.  $d 5 р. 30 к. 
021 # # $a RU  $b [92-3002] 
100 # # $a 20080117d1991 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения  $e Сб. науч. тр.  $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников  $g Отв. ред. К. К. Свиташев, А. С. Мардежов 
210 # # $a Новосибирск  $c Наука. Сиб. отд-ние  $d 1991 
215 # # $a 251, [1] с.  $c ил.  $d 22 см 
300 # # $a Библиогр. в конце ст. 
345 # # $9 690 экз. 
610 0 # $a Эллипсометрия - Сборники 
675 # # $a 539.211.082.5(082) 
702 # 1 $a Свиташев  $b К. К.  $g Константин Константинович  $4 340 
711 0 2 $a Институт физики полупроводников (Новосибирск) 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20080117  $g psbo