|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40628680000 |
| 005 |
20200828101950.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-03-000363-0
$b в пер.
$d 4 р. 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [90-17132]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1990 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Чистые помещения
$f [Ития Хаякава, Тосихару Окадзаки, Сюдзи Фудзии и др.]
$g Под ред. И. Хаякавы; Перевод с яп. В. Ю. Акифьева и др.; Под ред. В. Г. Ржанова, В. И. Ушакова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Мир
$d 1990
|
| 215 |
# |
# |
$a 454 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны перед вып. дан. - Библиогр.: с. 439-450. - Предм. указ.: с. 451-452
|
| 345 |
# |
# |
$9 4900 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Чистые производственные помещения
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 628.8:54-483
|
| 701 |
# |
1 |
$a Хаякава Ития
|
| 702 |
# |
1 |
$a Ржанов
$b В. Г.
$4 340
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
