|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr40135730000 |
| 005 |
20080111172325.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 1 р. 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [80-12005]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080111d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Труды Второго советско-американского семинара по ионной имплантации
$d Proceedings of the second USA-USSR seminar on ion implantation (9-11 июля 1979 г., Пущино)
$f Под ред. В. С. Вавилова и Л. С. Смирнова
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$c [Б. и.]
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 370 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Загл. пер.: Ионная имплантация. В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. Часть текста англ. Библиогр. в конце докл.
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 510 |
1 |
# |
$a Proceedings of the second USA-USSR seminar on ion implantation (9-11 июля 1979 г., Пущино)
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование ионное - Сборники
|
| 610 |
0 |
# |
$a Металлы - Легирование ионное - Сборники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(063)
|
| 702 |
# |
1 |
$a Вавилов
$b В. С.
$g Виктор Сергеевич
$4 340
|
| 710 |
0 |
2 |
$a Советско-американский семинар по ионной имплантации, 2-й. Пущино. 1979
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080111
$g psbo
|
