|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr39925340000 |
| 005 |
20080111161913.0 |
| 010 |
# |
# |
$d Б. ц.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [81-28367]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080111d1981 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Решение Всесоюзного научно-технического совещания "Новые материалы для изготовления пленочных элементов микросхем", 13-15 октября 1980 г.
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1981
|
| 215 |
# |
# |
$a 4 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Ин-т пробл. материаловедения... Для служеб. пользования
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1-416.002]:061.3
|
| 710 |
0 |
2 |
$a "Новые материалы ддя изготовления пленочных элементов микросхем", Всесоюзное науч. техн. совещ. Киев. 1980
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080111
$g psbo
|
