|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr39806000000 |
| 005 |
20190925151639.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-17271]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20080116d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Второй всесоюзный семинар «Микролитография»
$e [Тез. докл.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Черноголовка
$c [Б. и.]
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 179, [1] с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН СССР, Секция физ. и физ.-хим. основ микроэлектроники Науч. совета по комплекс. пробл. «Физика и химия полупроводников», Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР, Ин-т общ. физики АН СССР. - Библиогр. в конце докл.
|
| 345 |
# |
# |
$9 250 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Литография электронная - Тезисы докладов
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.75:776(043.2)
|
| 710 |
0 |
2 |
$a «Микролитография», всесоюзный семинар (2; 1988; Черноголовка)
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20080116
$g psbo
|
