Всесоюзный семинар "Микролитография": Тез. докл.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | "Микролитография", Всесоюзный семинар. Черноголовка. 1984 |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1984 |
| Физические характеристики: |
114 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
| 00000cam0a22000001ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr39805990000 | ||
| 005 | 20150227140332.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 021 | # | # | $a RU $b [85-8856] |
| 100 | # | # | $a 20080116d1984 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Всесоюзный семинар "Микролитография" $e Тез. докл. |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1984 |
| 215 | # | # | $a 114 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН СССР, Для служеб. пользования |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 610 | 0 | # | $a Литография |
| 610 | 0 | # | $a Микроэлектроника |
| 675 | # | # | $a 763(063) |
| 710 | 0 | 2 | $a "Микролитография", Всесоюзный семинар. Черноголовка. 1984 |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20080116 $g psbo |