
Синтез металлических и сверхтонких окисных пленок на поверхности полупроводников методами химического осаждения из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
格式: | |
---|---|
主要作者: | Галеева, Л. Х. |
出版: | Л. , 1982 |
實物描述: |
17 с.
|
語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|