Синтез металлических и сверхтонких окисных пленок на поверхности полупроводников методами химического осаждения из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Галеева, Л. Х. |
| Апублікавана: | Л. , 1982 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
17 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||